用以產生大面積電漿之電極元件
專利資料
專利公告號 I694748 公告日 西元 2020 5 21
發明/創作名稱 用以產生大面積電漿之電極元件
英文專利名稱 ELECTRODE COMPONENT FOR GENERATING LARGE AREA ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA
申請號 108130848 申請日 西元 2019 8 28
證書號 I694748 專利權到期日 西元 2039 8 27
專利類型 發明 公報卷/期 輯 / 第47 卷 / 第15
國際分類號 H05H-001/24(2006.01);H05H-001/34(2006.01);A61N-001/44(2006.01) 產業別 光電液晶類-平面顯示器
專利特點概述
一種用於產生大面積電漿之電極元件。此電極元件包括一第一透明絕緣基板、一第一透明電極圖案、一第二透明電極圖案、與一第二透明絕緣基板。第一透明絕緣基板具有一第一厚度。第一透明電極圖案與第二透明電極圖案係形成於第一透明絕緣基板之一上表面,且第一透明電極圖案與第二透明電極圖案間具有一間隙。第二透明絕緣基板具有一第二厚度,且覆蓋第一透明電極圖案與第二透明電極圖案。其中,第一厚度大於第二厚度,以產生大面積電漿於第二透明絕緣基板上方。
發明圖式/照片
圖例1-用以產生大面積電漿之電極元件
聯絡人資料
發明人姓名 謝OOOOOOOOOO
專利權人姓名 明OOOOO
專利權人住址 新OOOOOOOOOOO
專利權人E-mail maye@ltc.tw
合作開發方式
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